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微型高低溫真空探針臺高低溫真空探針臺冷熱臺 加裝真空位移拉伸夾具 實現(xiàn)對柔性傳感材料在不同溫度 濕度 氣體濃度 壓力和位移條件下的電學信號測試 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移過程可采集樣品信號 熱臺溫度范圍 高溫60℃低溫-60℃ 機械泵極限真空小于1Pa

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真空手動探針臺變溫射頻探針熱臺該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

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